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基于电子束等离子刻印制备自旋显微微悬臂探测器方

2015年

应用技术

初期阶段

成果简介

本发明公开了一种基于电子束等离子刻印制备自旋显微微悬臂探测器方法：
首先低温低压化学LPCVD方法基片镀制二氧化硅膜。
其次，等离子体RIE刻蚀镀二氧化硅膜的SOI基片刻蚀窗口阵列。
第三、湿刻基片。碱性溶液腐蚀等离子体开窗的WAFER窗口。
第四、窗口Si薄膜涂覆光阻胶。
第五、EBL制备...

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