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一种离子镀用贵金属靶的辉光放电修复方法

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种离子镀用贵金属靶的辉光放电修复方法，该方法包括以下步骤：清洁处理被修复靶；用压力机将与被修复靶相同材质的金属粉末均匀填充入刻蚀损耗区；将被修复靶置入真空室中所设置的空心阴极放电装置内且刻蚀损耗区朝上，所述空心阴极放电装置由上部带开口的杯状电极和位于杯状电极上部且与其配合使用的平板电极组成；对被修复靶进行辉光放电修复；待填入刻蚀损耗区内的金属粉末完全熔化后，使被修复靶缓慢冷却...
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