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一种烧绿石型涂层导体阻隔层的制备方法

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种烧绿石型涂层导体阻隔层的制备方法，方法为：将含有3个结晶水的乙酰丙酮镧和乙酰丙酮四乙醇钽固体按照摩尔比为3∶1的比例称取后混合，然后加入丙酸和甲醇混合溶剂溶解，配制成前驱液；将前驱液旋涂于用丙酮超声清洗过的基底上，将涂好的基底置于管式炉中，于还原性气氛中高温热处理，然后冷却至室温即制得La3TaO7阻隔层。本发明首先采用常规简单金属盐配制前驱液，然后再采用一步快速热处理的制...
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