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基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料，其特征在于：选择石英基片并将表面抛光，在其表面蒸镀ＳｉＯ↓［２］膜；在ＳｉＯ↓［２］膜表面蒸镀铬膜，在铬膜上涂覆光刻胶层；采用电子束光刻方法，在光刻胶上制备介质光栅结构；采用湿法腐蚀技术，将光刻胶作为掩模，腐蚀裸露铬膜；采用干法腐蚀技术，将铬膜作掩模，在ＳｉＯ↓［２］膜上刻蚀介质光栅结构，去除铬膜；采用侧向真空沉积技术，在ＳｉＯ↓［２］光...
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