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一种基于亚波长金属孔阵列的电磁完美吸收体

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种基于亚波长金属孔阵列的电磁完美吸收体，制作步骤：
（１）选择石英基片，并将其表面抛光；然后采用真空蒸镀，在表面抛光后的石英基片表面沉积一层厚度大于５０纳米为的金膜；
（２）在金膜表面蒸镀一层厚度为３５纳米至４５纳米的ＳｉＯ２膜，并在所述ＳｉＯ２膜上均匀涂覆一层光刻胶；
（３）采用电子束光刻的方法，在光刻胶上制备出亚波长介质柱结...
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