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激光作用固液界面物质的微尺度热力效应研究

2017年

基础理论

成果简介

　　激光加工技术具有众所周知的优势，越来越广泛地应用于微机电系统（MEMS）制造领域。对一些重要的应用，为避免激光直刻产生的应力、机械损伤和杂质沉积等加工质量问题，逐渐兴起在溶液中激光微加工的技术。溶液中激光切除、溶液中激光打孔以及激光与电化学刻蚀相结合的激光诱导湿刻（Laser Assisted Wet Etching， LAWE）工艺等也由此产生。在激光作用溶液环境下物质的过程中，展现独特的热...

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