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一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带阻滤波器

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本实用新型为一种通过静电驱动进行调节的太赫兹带阻滤波器，硅基底的通孔上为二维阵列，上方进入的太赫兹波穿过二维阵列得到滤波，从通孔射出。阵列单元包括倒梯形环结构和一字形结构，倒梯形环长底边在上，短底边在下，中空部分也为梯形，一字形与梯形环短底边相对且平行，本例倒梯形环结构的梯形为等腰梯形，底角为37度，上方的长底边为90微米，下方的短底边为30微米，高度为40微米，倒梯形结构各边的边线宽度为5微...
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