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米级大口径偏振片全频段面形加工方法

2017年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　一种米级大口径偏振片全频段面形加工方法，本发明方法通过磁流变抛光与保形光顺抛光结合，可以有效的控制米级大口径偏振片的加工精度，制造出在高功率激光系统中全频段指标达标的米级大口径偏振片元件，透反两面具体指标如下：PV≤λ/3，GRMS≤7nm/cm，PSD1RMS≤1.8nm，PSD2RMS≤1.1nm，表面粗糙度≤1nm。...

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