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相位掩模板切换装置

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　用于相位掩模板写入法刻写光栅的阵列型相位掩模板切换装置与阶梯型相位掩模板切换装置，由相位掩模板夹具或相位掩模板夹具组合，两个一维电控位移平台、转接架与控制系统构成，与在先技术相比，本发明大大简化了光纤光栅刻写时的操作，可实现光纤光栅的自动化刻写，并且能够提高刻写光栅的质量与重复性。 | The invention discloses an arrayed phase mask plate sw...
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