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光刻机光瞳整形单元结构及其衍射光学元件设计方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种光刻机光瞳整形单元结构及其衍射光学元件的设计方法，光瞳整形单元包括级联衍射光学元件和变焦距准直透镜组。级联衍射光学元件包括第一衍射光学元件和第二衍射光学元件，这两片衍射光学元件的通光表面均垂直于照明系统光轴，这两片衍射光学元件均为纯位相元件。所述的级联衍射光学元件的设计方法，包括以下步骤：相位单元周期的计算；入射光束和确定所需光束的光强分布并进行离散化处理；对第二衍射光学元件和第一衍射光学...
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