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一种太赫兹超材料单元结构及其制备与调控方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种太赫兹超材料单元结构及其制备与调控方法，其涉及超材料及太赫兹探测技术领域，该太赫兹超材料单元结构由底层、中间介质层、表层三层组成，所述底层为一层连续金属膜；中间介质层为聚酰亚胺薄膜、氮化硅薄膜、氧化硅薄膜、非晶硅薄膜、氮氧化硅薄膜、氧化铝薄膜、氧化铪薄膜、氧化铝铪薄膜当中的一种；所述表层为表层谐振器，该表层谐振器为内部呈“工”字型、外围为“方框”的图形化金属；其超材料太赫兹响应...
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