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一种高吸收结构的太赫兹室温探测器及制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种高吸收结构的太赫兹室温探测器及制备方法，用于太赫兹波段的探测。所述探测器的顶层是亚波长结构的金属图形，作为一个电子谐振器，用于吸收特定频率的太赫兹波；第二层是复合薄膜微桥桥面和空腔作为介质层；底层是一个厚的金属层平面，它的主要作用是减少透射。其中，最上层的金属图形为方形十字架结构的交叉谐振器；这种结构由于强的共振有一个明显的吸收峰，并且，由于这种结构的旋转对称性，共振对于入射的...
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