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一维硅基硅化物表面等离子波导结构的设计、制备与耦合传输特性研究

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　随着标准集成电路工艺特征尺寸的迅速减小，器件的密度显著提高。电学互连带来的能量损耗及电磁干扰已经成为制约硅基微电子集成电路发展的瓶颈。集成光互连凭借其在传输带宽、抗干扰能力及能量损耗上的显著优势，已经成为解决电学互连问题的重要途经。然而，由于光子不具有定域性特点，存在衍射极限，这就限制了光子器件的集成化。表面等离子体（Surface Plasmon， SP）是一种金属-介电材料界面处的电磁波，...
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