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大规模集成电路晶圆刻蚀设备关键零部件

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　半导体生产线是目前世界上公认的最复杂的制造系统，刻蚀设备是半导体晶圆制造过程中最复杂的系统，而腔体、加热器、分配器是晶圆刻蚀设备最为关键的零部件。本项目研制的关键零部件腔体、加热器、分配器填补国内空白，达国际同类产品先进技术水平，具有耐腐蚀、耐氧化、耐高电压击穿、漏率小的特点，价格仅为国外同类产品1/3。主要技术内容如下：
　　1、腔体主要为刻蚀工艺过程提供一个具有低分子密度和高平...
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