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一种用于芯片高温退火的插板式石英舟

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于芯片高温退火的插板式石英舟。本发明中的石英舟为一种具有活动斜槽叶片的插板式石英舟结构，该结构分为底板插座和带斜槽的活动叶片，底板插座四角有支撑脚，每对叶片的斜槽与竖直方向呈43°-47°倾角，斜槽壁间夹角约50°～70°，叶片通过底端方棱形叶柄插在具有方孔阵列的底板插座上，芯片竖直斜放于叶片斜槽中。本发明的石英舟通过调节斜槽的水平间距可同时承载不同尺寸的芯片；采用竖直装片方式及斜槽结构...
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