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基于电控晶体管的太赫兹蓝移调制器及制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　基于电控晶体管的太赫兹蓝移调制器及制备方法，属于电磁功能器件技术领域，本发明包括半导体衬底、外延层、正电压加载电极、调制单元阵列、负电压加载电极；外延层设置于半导体衬底上，调制单元阵列、正电压加载电极和负电压加载电极设置于外延层上；所述调制单元阵列包括M×N个调制单元，其中，M＞3，N＞3；每个调制单元包括谐振单元和高电子迁移率晶体管，高电子迁移率晶体管源极和漏极与谐振单元结构中的电容片连接。...
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