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复合材料红外探测器制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  复合材料红外探测器制备方法,属于电子材料与元器件技术领域。本发明包括下述步骤:
  1)制备衬底和绝热层,衬底的厚度为0.01-10mm;绝热层的厚度为100nm~50um;
  2)在绝热层上制备热敏感单元,所述热敏感单元包括热敏感薄膜和电极,热敏感薄膜的材料为PZT/PVDF复合热释电材料;热敏感薄膜厚度为15~20um;
  3)在热敏感单元的表面制作...
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