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一种四氯化硅汽化器

2017年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　本实用新型涉及一种四氯化硅汽化器，包括汽化罐体和换热管，换热管纵向排列在汽化罐体内，汽化罐体的顶部设置有合成气体进口，汽化罐体底部设置有合成气体出口，汽化罐体侧面设置有四氯化硅液体进口和四氯化硅气体出口，合成气体进口和合成气体出口与换热管相连通，四氯化硅液体进口和四氯化硅气体出口与汽化罐体连通。本实用新型充分利用四氯化硅在进行冷氢化反应后的高温合成气体中的热量汽化四氯化硅，大大减少了能量的消耗...

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