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一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统及其方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统及其方法，涉及改良西门子法多晶硅还原炉和硅烷CVD法多晶硅还原炉底盘和尾气冷却工艺设备领域。本发明包括还原炉底盘冷却结构和尾气冷却结构，所述还原炉底盘冷却结构与尾气冷却结构之间通过法兰连接；所述尾气冷却结构包括尾气冷却水入口、尾气冷却水出口管和尾气排气管；本发明将底盘冷却和尾气冷却采用不同的温度的冷却水，进而将还原炉底盘下的冷却结构进行改变，改变后...
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