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一种用于微结构制造的全干法刻蚀硅溶片制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种用于微结构制造的全干法刻蚀硅溶片制备方法，属于微电子机械系统（MEMS）加工技术领域。本发明的制备方法采用以下加工步骤：
　　(1)玻璃电极制备；
　　(2)硅台阶和微结构制备；
　　(3)玻璃-硅静电键合和硼硅玻璃划槽；
　　(4)硅溶片处理；制得所需的产品。
　　本发明的制备方法使用SOI硅片，利用全干法刻蚀工艺实...
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