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多功能测量仪用大型三维调整平台

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　传感器是现代高端制造的核心，是高端制造及测量装备的“眼睛”， 超精密工程的核心关键测量部件就是光栅传感器。
　　国产轮廓仪测量仪受进口光栅价格高，高精度光栅进口限制等因素的影响，一般使用价格相对比较低的电感传感器来作为数据采集工具。但电感传感器固有弊端是量程小，只有20μm，抗干扰能力差，稳定性差，国产精密测量仪器在测量量程，精度，及重复性等方面受到很大制约，阻挡了企业从精密测量向...
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