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大功率二极管玻璃内钝化技术

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　玻璃内钝化技术的原理就是在半导体器件PN结台面生长一层玻璃钝化膜来保护PN结免受可动离子的沾污和外界条件对器件性能的影响，以提高产品的电性能，稳定性及可靠性。玻璃钝化膜是微晶玻璃，具有玻璃网状结构，膜厚比一般钝化膜厚，表面致密无针孔。这使得玻璃钝化膜在很大程度上能阻止高温下欲电离的荷电物质，阻止膜内离子的迁移和外界离子的侵入。另外，玻璃钝化温度比热氧化温度低，且时间短，减少了长时间的高温处理对...
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