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旋转横向磁场可控电弧离子镀的工艺基础研究

2017年 基础理论
  • 成果简介
　　“大颗粒”问题是限制电弧离子镀表面防护技术进一步发展及应用的瓶颈。本项目通过系统研究发现，控制弧斑运动的横向磁场是影响大颗粒最关键的因素，横向磁场的设置直接影响到阴极靶、等离子体以及膜层的特性。本项目经过优化设计，系统研究了多模式动态扫描周向旋转横向磁场、可调机械式多模式旋转横向磁场、频率和强度可调的完全覆盖靶面的旋转横向磁场三种不同模式旋转横向磁场下弧斑放电及运动的演化规律及影响机制。通过多...
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