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半导体级高纯气、高纯酸、太阳能级高纯硅中超痕量金属杂质检测方法研究

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
随着集成电路与新能源产业的高速发展，企业对生产过程中所用高纯气体、高纯酸、高纯硅等原材料的纯度有越来越苛刻的要求。金属杂质是造成器件性能低劣，成品率低和可靠性差的重要原因之一。因此原材料中金属杂质的消除与控制是提高产品质量和成品率的重要措施，企业亦急需对高纯气体、高纯酸、高纯硅等原材料中超痕量金属杂质的精确定量方法。
本项目为满足半导体和光伏产业发展需求，开展半导体级高...
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