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三维晶体光学回音壁微腔的制备方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种三维晶体光学回音壁微腔的制备方法，包括对浸没在液体中的晶体进行飞秒激光选择性烧蚀和利用聚焦离子束研磨微腔侧壁。本发明方法制备的三维晶体光学回音壁微腔能将光通过腔体与外界面的连续全内反射限制在腔内，具有极高的表面光洁度，小的模式体积与高的品质因子。该方法适用于各种晶体材料和玻璃等。与现有技术相比较，本发明的优点在于：
1、突破了飞秒激光微加工技术只能制备基于聚合物和可...
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