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改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板的设计方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于行星转动系统镀膜机内改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板设计方法。建立镀膜模型和设计了具有抛物线轮廓的平面修正挡板。本发明挡板用于镀膜实验表明，在通光口径与曲率半径比值范围（－1.9～+ 1.9）内改善膜厚均匀性达到97.5%以上，且对凸球面光学元件和凹球面光学元件都适用。本发明与现有技术相比主要优点：
本发明通过计算机模拟一次性设计出挡板，本发明挡板用于镀膜...
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