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二氯二氢硅歧化法回收利用技术研究

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1.课题来源与背景
（1）课题来源
本课题为亚洲硅业（青海）有限公司自选课题。
（2）课题背景
目前，国内外多晶硅生产多采用改良西门子法。改良西门子法多晶硅生产系统内的还原工序、氢化工序和合成工序都副产SiH2Cl2（DCS）。适量DCS的存在对于多晶硅生产是有益的，可以加快沉积反应的速度，降低还原电耗。但若D...

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