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一种硅基有机发光微显示器件隔离柱的制备方法

2015年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明涉及硅基有机发光微显示（OLED）金属阳极及阴极隔离柱的制备方法，其特征在于：所述的该隔离柱的制备步骤如下：
1）在硅基片衬底上用磁控溅射一层金属膜；
2）在镀有铬/银的硅基片上涂光学光刻胶，用第一版光刻板进行曝光、显影；
3）对刻有图形的硅基片进行ICP刻蚀；
4）超声波去除硅基片上的光刻胶；
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