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一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺及系统

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于三氯氢硅生产的除尘工艺及系统 专利号:ZL201210358683.9
在冷氢化和三氯氢硅合成工艺中,最早采用的是传统的湿法洗涤除尘,含尘气体进入到洗涤塔塔釜液相中进行鼓泡洗涤,由于反应气体流量和温度的瞬时波动,导致液位波动较大,不易控制,同时汽化的气体在上升过程中很易夹带硅粉和凝华下来的金属氯化物,造成洗涤塔顶部冷凝器被堵塞,影响装置的连续稳定运行。此外由于反...
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