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一种大直径、超长度高纯硅晶体切割方法及设备

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种大直径、超长度高纯硅晶体切割方法及设备，工艺为先对高纯硅晶体通过吸振材料粘接后过度装夹；再通过数控自动编程软件系统对切割高纯硅晶体图形进行编排处理；然后通过电镀金刚石砂线主切削运动为垂直往复运动，辅助切削运动为自转运动对高纯硅晶体切削；设备包括电镀金刚石砂线、工作平台、摇臂、曲柄摇杆机构和石墨粘块；采用电镀金刚石砂线作为刀具，大大提高高纯硅晶体加工范围，尤其针对大直径、超长...
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