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28到15纳米介质刻蚀机

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

中微介质刻蚀产品，已共有62台机器（278个反应台）在26条十二英寸半导体厂生产线上从事量产，生产的晶圆片数超过1840 万片。2011-2014年期间，中微28-15纳米介质刻蚀机产品的开发和在客户端的应用有了重大的进展，其中的单台刻蚀机（SSC AD-RIE）在短短两年内，从26纳米金属通孔的出色表现开始，再经过20纳米的良率验证，现已取代美国泛林刻蚀产品，成为韩国领先的闪存储存器（N...

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