首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

Φ200mm紫外级氟化钙单晶生长

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
①课题来源与背景：
大尺寸紫外级氟化钙单晶是半导体工业用紫外光刻机的关键材料，在紫外波段光学成像有广泛的应用，目前国际上只有日本1家公司可以生产该类材料，鉴于此，我们在长春市科技局的大力支持下开展了该项目的研发工作。
②研究目的与意义：
研究的目的是生长在193nm处透过率大于90%的氟化钙单晶，如果将项目产品产业化，为未来我国国...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统