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一种生产Φ6英寸区熔气掺硅单晶的热系统及工艺

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目实现了6英寸区熔硅单晶的热场设计和制作，形成一套完整的具有自主知识产权的6英寸区熔硅单晶生长工艺，实现产业化。
本项目实施前，我国大直径IGBT基材完全依赖进口，成为制约我国IGBT器件行业发展的瓶颈，同时也对我国的国防军事、电力通讯行业造成不利影响。
本项目实施后，实现了6英寸IGBT用区熔硅单晶的产业化，满足了国内市场需求，打破了该项产品被...

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