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具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种具有混联导轨结合部的宏微驱动精密进给系统，包括由下而上依次设置的滑座、直线电机的初级、直线电机的次级、宏动滑台和中空的一边开口的致动器变形导轨支承件，滑座与宏动滑台之间还并行设置有宏动滑台运动导轨，致动器变形导轨支承件内设置有致动器变形导轨柔性铰链组件和压电致动器，与致动器变形导轨微动块的一端固接，致动器变形导轨微动块的另一端自致动器变形导轨支承件的开口伸出，并与连接件固定...
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