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凹槽绝缘交叠栅异质结场效应晶体管

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种凹槽绝缘交叠栅异质结场效应晶体管，该器件自下而上包括衬底（1）、过渡层（2）、势垒层（3）、源极（4）、漏极（5）、绝缘介质层（7）、钝化层（8）、交叠栅（10）和保护层（12），该势垒层上开有第一凹槽（6），该钝化层上开有第二凹槽（9），其中，钝化层上交叠栅与漏极之间淀积有n个浮空场板（11）。每个浮空场板大小相同，相互独立，且相邻两浮空场板之间的间距按照浮空场板排列自交...
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