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凹槽绝缘栅型复合源场板的异质结场效应晶体管

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种凹槽绝缘栅型复合源场板的异质结场效应晶体管，该器件自下而上包括衬底、过渡层、势垒层、源极、漏极、绝缘介质层、绝缘槽栅、钝化层、源场板和保护层，势垒层上开有凹槽，绝缘槽栅位于凹槽上部的绝缘介质层上，源场板位于钝化层的上面，源极与源场板电气连接，其中，源场板与漏极之间的钝化层上淀积有n个浮空场板。这些浮空场板大小相同，相互独立，相邻两浮空场板之间的间距按照浮空场板排列自源场板到...
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