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三氟化硼气体纯化技术工业化应用

2016年 应用技术
  • 成果简介
　　三氟化硼在工业生产上有很多方面的应用，可以用于电子工业和光纤工业，可以作为制备光纤预制件的原料，并且是硅和锗外延、扩散和离子注入过程的P型掺杂源。高纯三氟化硼作为硼掺杂剂用于硅离子布植方面，生产出的芯片具有高集成、高密度的特点。三氟化硼是有机合成和石油化工广泛应用的一种重要催化剂，在很多有机化学反应如烷基化、聚合、异构化、缩合及分解等过程中都有广泛的应用。三氟化硼还是B-10同位素的关键源材料...
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