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一种微透镜与光波导功分器集成元件及其制作方法

2016年 应用技术
  • 成果简介
　　1、成果水平及专利情况
　　（1）成果水平：
　　应用离子交换技术，在玻璃基底形成半球型聚焦微透镜阵列，进而利用飞秒激光诱导玻璃基底的内部发生折射率变化，形成微米宽度的光波导功分器，从而实现将微透镜和光波导功分器两种基本微光学元件集成在一块玻璃基底上，实现微透镜与光波导的对准和耦合，生成具有最佳性能的微光学集成器件，填补了本领域技术空白。
　　（2）专利情况...
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