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MOCVD 多物理场耦合分析技术

2014年 应用技术
  • 成果简介
  技术成果名称:MOCVD 多物理场耦合分析技术
  是否验收:是
  有否样品或样机:有
  科研项目资助情况:上海市科委项目
  技术成果简介:
  MOCVD 已经在光电子材料研究和生产中广泛应用,市场前景广阔,也是LED 产业链上影响产品质量、降低成本最关键的核心装备。目前MOCVD 设备的核心技术专利均为国外公司所拥有,设...
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