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分布式离散设备中央监控处理系统

2014年 应用技术
  • 成果简介
　　技术成果名称：分布式离散设备中央监控处理系统
　　技术成果简介：
　　目前微电子行业的晶圆切割机具有大规模分布式排列特征，但具体工作特征均为离散单机操作模式，如此操作模式下在处理运行信息、报警信息，以及信息处理和报警消除操作过程中，由于需要针对每台设备进行到场实际处理和操作，浪费了大量的人力资源和精力时间。针对大规模分布晶圆切割机设备的中央监控处理系统分为监视部分和控制...
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