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连熔法生产半导体用透明石英玻璃管

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该成果是利用优选的高纯度的水晶料，对原料进行独特的预热处理方法，采用创新的钨丝网状发热体连熔拉制设备，并用脱羟技术等一系列工艺，生产出符合JC/T597-1995标准的半导体制造用透明石英玻璃管材，填补了国内连熔法生产半导体用透明石英玻璃管的空白，并处于国内领先水平，技术指标接近国际同类产品GE214的水平。
经半导体待业用户试用，直径25mm以下的石英玻璃管材可以替代...
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