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晶硅片切割再生液脱色及精滤提纯工艺研究

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
国内从事晶硅片切割液回收的企业很多，但是由于回收工艺和技术的不同造成了再生液品质上存在很大的差异，而劣质的再生液在硅片切割中将会造成硅片污片、出现划痕、不易清洗、成品率等问题，严重影响晶硅片的切割及后续的处理。除了回收工艺和技术的差别外，晶硅片切割再生液还存在回收率低、生产效率差、劳动强度大、生产周期长等问题。因此，急需对晶硅片切割再生液的生产工艺进行改进。
晶硅片切割...
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