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工具级金刚石自支撑厚膜

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一、应用领域及技术原理：
该项目基于磁控直流电弧等离子体炬技术，使用超音速喷射和150千瓦级大功率直流电弧等离子体法工艺，实现了大面积金刚石厚膜的均匀性和稳定性；采用半开放式的气体循环系统，有效地提高了碳转化为金刚石膜的效率，节能降耗，生产成本低；衬底材料通过优选、预研磨、超声波清洗及特定处理，有效地降低了金刚石厚膜生长的热应力，增强了具有择优取向的金刚石厚膜柱状晶组织...
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