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物理气相沉积纳米复相氮化钛－氮化铝超硬薄膜（中科院）

2004年 基础理论
  • 成果简介
人们总希望使用的工具具有良好的耐摩擦磨损性能，自1994年德国科学家Veprek等提出纳米复合超硬薄膜概念以来，该材料已成为当今材料科学研究的热点之一。纳米复合超硬薄膜由镶嵌在非晶基体材料中的纳米晶粒组成，具有优异的力学性能和化学性能（例如，高硬度、韧性和化学稳定性、低摩擦系数和优异的耐磨抗氧化性能等），在机械器件上应用前景广阔。
本项目研发了磁约束电感耦合等离子体增强...
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