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高透明高隔热节能玻璃贴膜

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
采用射频磁控溅射Ga2O3陶瓷靶材和直流磁控溅射金属Cu靶材和ITO靶材在有机柔性衬底PET上室温制备了Ga2O3/Cu/ITO多层膜，研究了膜层参数和工艺条件对Ga2O3/Cu/ITO多层膜光学和电学性能的影响，得到了优化的薄膜参数和制备工艺条件。Ga2O3/Cu/ITO薄膜可见光透过率高达85.7%（扣掉衬底）、面电阻低至45欧姆，霍尔迁移率8.6cm2v-1s-1，载流子浓度8.5×...
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