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一种量程可达200万M/S2的微机械加速度传感器

2005年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　设计一种量程可达200万m/s2以上的微机械加速度传感器。
　　其特征在于由锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻、框架及上下玻璃盖板构成；有锚区、敏感薄板、质量块、压敏电阻构成的敏感芯片封装在框架内，并且与上下玻璃盖板键合在一起；敏感芯片采用对称结构的双端固支的双质量块；3个敏感薄板的长度相等，其宽度与质量块的德宽度相同；压敏电阻设计成单一直线条状，其中外侧的两条安置于敏感薄板梁与锚区...

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