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跨尺度工艺集成纳米平面尺寸标准样板的制备及溯源表征技术研究

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
课题来源与背景：上海市科学技术委员会纳米专项；超精密加工与半导体产业的快速发展对纳米计量技术提出了更高的要求。纳米标准样板作为纳米计量行业标准物质与纳米几何量量值传递中的关键组成部分而被广泛的运用于纳米计量中。
技术原理及性能指标：
1.制备一套跨尺度多种平面标准样板。尺寸范围从50nm～50um，尺寸均匀性满足使用要求，各尺寸相对不确定度低于1%。...
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