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新型碱性CMP抛光液及清洗剂检测方法及检测标准的研究

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本课题针对新型碱性抛光液和清洗剂的性能参数，研制了相应参数的检测方法，并制定了碱性铜抛光液、清洗剂的企业产品标准；对表征CMP效果和清洗效果提出了系统的检测方法。研制的检测方法和产品标准对于新型碱性抛光液、清洗剂的制备和应用示范具有重要的指导作用；对抛光和清洗的效果进行评价，为抛光和清洗工艺的改进提供了重要依据，所获得的具有自主知识产权的技术和标准，为进一步实现产品的产业化做了充分地准备。...
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