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场发射微等离子体的产生及诊断

2014年 基础理论
  • 成果简介
①课题来源与背景
微等离子体通常被限制在尺度为1微米到几百微米的有限空间范围内。尽管它是常规等离子体的一个缩影，但由于放电尺寸缩小至微米量级，使得它与常规等离子体相比，具有一些新的优势，如微等离子体通常能够运行在大气压条件下，有更高的等离子体密度和更好的稳定性，以及由此带来的其它新特点。微等离子体的产生和诊断是微等离子体技术物理研究及其开发应用的基础和前提。目前产生微等...
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