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硅片太阳电池制作方法

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明技术公开了太阳能应用领域一种硅片太阳能电池制作方法，本发明按生产过程依次为如下六个步骤：前道化学预处理；半导体PN结的制作；电感偶合等离子（ICP）刻蚀周边；淀积氮化硅薄膜；丝网印刷正、背面电极；正、背面电极金属化及氮化硅薄膜烧穿。铝浆小窗口处印刷采用银铝浆，保证了小窗口也同样获得铝背场的结构，并且实现了铝浆小窗口处的三价铝对五价磷的补偿作用，同时本发明也对烧穿氮化硅薄膜工艺中的硅电...
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